臭氧滅菌的過程屬于生物化學氧化反應。臭氧可以氧化分解細菌等微生物內(nèi)葡萄糖所必須的酶，也可以直接與細菌、病毒發(fā)生作用，破壞其細胞和核糖核酸，分解DNA、RNA、蛋白質(zhì)、脂質(zhì)類和多糖等大分子聚合物，使細菌等微生物內(nèi)的物質(zhì)發(fā)生通透性畸變，導致細胞的溶解死亡,并且將死亡菌體內(nèi)的遺傳基因、寄生菌種、寄生病毒粒子、噬菌體、支原體及熱原（細菌病毒代謝產(chǎn)物、內(nèi)毒素）等溶解變性滅亡。綜觀無菌技術對微生物作用的原理，可分為抑菌、殺菌和溶解三種，應用臭氧作滅菌劑是屬于溶菌的范疇。
按原理劃分，人工產(chǎn)生臭氧的方法可分為光化學、電化學、原子輻射和電暈放電等幾種。工業(yè)應用的臭氧，大都采用氣體電暈放電型的臭氧發(fā)生器制備而得。
臭氧具有強烈的消毒滅菌作用，殺菌徹底迅速。在消毒滅菌的同時，臭氧可自行還原為氧氣，不留任何痕跡，無二次污染，是一種環(huán)保型殺菌劑；同時，也可避免紫外線能效低、化學熏蒸污染大的缺點。
臭氧發(fā)生器適用于食品生產(chǎn)企業(yè)的原料及成品貯存、保鮮、消毒的工藝過程之中，例如，可用于：冷庫消毒；生產(chǎn)車間空氣的滅菌凈化；蔬菜水果加工、貯藏及防霉保鮮；礦泉水殺菌保質(zhì)以及生產(chǎn)用水、生產(chǎn)工具容器、包裝物等的消毒；有助于食品生產(chǎn)企業(yè)通過食品行業(yè)的GMP及HACCP體系的認證。
臭氧發(fā)生器的另一個重要用途是用于水處理過程中。臭氧用于潔凈水、礦泉水、無鹽水的消毒殺菌時，可起到殺菌、除異味、增氧和改善口感的作用；用于游泳水凈化、中水回用、污水的處理時，可去除污水中難處理的化學物質(zhì)，并有脫色，除異味功能；臭氧還可在循環(huán)冷卻水時，阻止水垢生成、緩解設備及管道腐蝕。
客觀地講，臭氧是一種高效、環(huán)保的殺菌劑。既然臭氧有如此多的優(yōu)點，那為什么許多食品企業(yè)還不愿意購買使用臭氧設備呢？專家認為，導致這種現(xiàn)狀的原因很多，不少企業(yè)誤認為“用臭氧殺菌的成本很高”，就是重要原因之一。
那么，用臭氧殺菌的成本是不是真的很高呢？專家認為，事實并非如此，原因主要有：1.原料成本低。臭氧的原料來源充足，可以直接用空氣為原料，原料及原料處理幾乎不要花錢。2.操作簡單方便，在使用微電腦控制的臭氧發(fā)生器時，可以設定工作參數(shù)，無需人員值守，可減少人工費用。3.可減少健康費用的支出。自動化控制程度高，人員無需呆在消毒室，且臭氧發(fā)揮殺菌作用后，會很快分解，所以，用臭氧殺菌消毒，不會對操作人員的健康產(chǎn)生危害，不會引發(fā)象化學熏蒸劑消毒那樣的職業(yè)病。4.運行費用低。以臭氧消毒，消耗的成本主要是電費，例如，一個體積為300立方米的食品車間用臭氧消毒，只要用15克臭氧、保持空間臭氧濃度達10ppm一小時即可。而要達此要求，只要用臭氧發(fā)生量為10克/小時的臭氧發(fā)生器即可，這種設備的功率為70～80瓦。也就是說，一臺80瓦的臭氧發(fā)生器只要運行一小時，就可以滿足一個體積為300立方米的食品車間的消毒要求，很顯然，這樣的電費并不高，食品企業(yè)完全可以承受。而一臺臭氧發(fā)生量為10克/小時的臭氧發(fā)生器，售價約為4000～5000元之間。5.相對于用化學熏蒸劑消毒而言，購買臭氧設備的一次性投入較大；但從長期來看，臭氧消毒的運行費用并不高。化學熏蒸劑是有毒有害物品和一次性消耗品，為了保存和使用這種物品，須設置專門的倉庫和設施，這也要花一筆不小的錢，在食品行業(yè)而言，這筆錢極可能比一臺臭氧設備的購置款大很多；每次消耗掉的化學熏蒸劑也要花錢。而一臺臭氧設備，只要保養(yǎng)得當、正確使用，可以使用多年。6.臭氧設備的殺菌能力有大小之分，價格也各不相同，食品企業(yè)完全可以根據(jù)自己的生產(chǎn)要求進行選購。一般的食品工廠，選用發(fā)生量為100克/小時的臭氧設備即可，滅菌體積可達2000立方米。
所以，用臭氧殺菌的成本并不高，食品企業(yè)完全可以承受。隨著消費者對食品質(zhì)量要求的提高和國家對食品衛(wèi)生安全性重視度的提高，作為一種高效、環(huán)保、運行成本低廉的殺菌保鮮劑，臭氧在食品行業(yè)的應用空間會越來越廣闊。專家建議，當務之急是要加大宣傳力度，讓更多的食品企業(yè)了解臭氧殺菌的好處、清楚臭氧殺菌在成本方面的低廉性。同時，臭氧殺菌設備企業(yè)也應加大服務力度，指導食品企業(yè)科學使用臭氧設備，并做好售后維修工作，以解除食品企業(yè)的后顧之憂。專家認為，臭氧設備做好了這些方面的工作，肯定會吸引更多的食品企業(yè)選購臭氧設備。 
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